Nanolitografia

Centre de nanofabricació de la Universitat de Minnesota - Bay 4, nanolitografia i màscara.

La nanolitografia (NL) és un camp creixent de tècniques dins de la nanotecnologia que s'ocupa de l'enginyeria (per exemple, gravat, dipòsit, escriptura, impressió, etc.) d'estructures a escala nanomètrica sobre diversos materials.

El terme modern reflecteix un disseny d'estructures construïdes en un rang de 10−9 a 10−6 metres, és a dir, escala nanomètrica. Essencialment, el camp és un derivat de la litografia, que només cobreix estructures molt petites. Tots els mètodes de NL es poden classificar en quatre grups: fotolitografia, litografia d'escaneig, litografia suau i altres tècniques diverses.[1]

Litografia de feix d'electrons JEOL (EBL).
  1. Hawkes, Peter W. Advances in imaging and electron physics. Volume 164 (en anglès). Amsterdam: Academic Press, 2010. ISBN 978-0-12-381313-8. OCLC 704352532. 

© MMXXIII Rich X Search. We shall prevail. All rights reserved. Rich X Search